Predictive Process Tuning - PreTune
Auf einen Blick
- Projektleiter/in : Marcin Sadurski
- Projektstatus : abgeschlossen
- Drittmittelgeber : Innosuisse (Innovationsprojekt / Projekt Nr. 51514.1 IP-ENG)
- Projektpartner : Hitachi Energy AG / Semiconductors
- Kontaktperson : Marcin Sadurski
Beschreibung
Dieses von Innosuisse geförderte Projekt zielt darauf ab, eine innovative, prädiktive Prozesssteuerung zu implementieren, die durch eine KI-gestützte multiperspektivische Datenanalyse ermöglicht wird, die in den Prozess Digital Twin eingebettet ist. Das Ergebnis wird das aktuelle Niveau der Produktqualität deutlich verbessern und eine ökologischere Halbleiterproduktion ermöglichen.